测量机
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用于圆形机床的表面轮廓仪spcm
NANOMETRO® FR系列
本设备搭载旋转气动工作台，可测量直径达φ1000mm的圆盘表面形状，包括晶圆抛光用陶瓷板及研磨台等。
配备支持多种测量模式的专用软件，涵盖用于详细评估的同心圆测量及用于概略评估的放射状测量等功能。 -
表面轮廓测量设备spme
超高精度平面度测量装置 SF-640M
作为模具等工件精度评估系统而开发的大型测量装置，具备650×450的测量范围。
应用本公司硅晶圆用超精密测量装置“纳米测”的技术与专业知识。可实现平面与边缘的高精度评估，并能通过鸟瞰图、剖面图、等高线等多样化形式评估平面形状。
若需更大测量范围，敬请垂询。 -
测量结果measuring
φ360氧化铝平面度测量
用途：半导体制造设备
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