超高精度平面度测量装置 SF-640M
「将看不见的世界带入看得见的世界」
作为模具等工件精度评估系统而开发的大型测量装置，具备650×450的测量范围。
应用本公司硅晶圆用超精密测量装置“纳米测”的技术与专业知识。可实现平面与边缘的高精度评估，并能通过鸟瞰图、剖面图、等高线等多样化形式评估平面形状。
若需更大测量范围，敬请垂询。
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高精度的运行结构！
X轴·Y轴采用高精度气动滑座、线性伺服马达等黑田超精密加工技术，实现了高范围高速度高精度的平面度测量。
可对应各种工件的评价！
测头(接触式/非接触式)采用可根据客户所要求的评价项目和精度进行更换的设计，可对测定对象做出最适合的评价。可对应金属、陶瓷、玻璃、各种晶圆等各种工件。
简单操作可得到丰富分析！
采用我公司自制开发的软件，可满足据客户要求的结构显示·分析。测量Pitch可任意设定，实现了高自由性高精度测量。运用了我公司硅晶圆用超精密测量装置“NANOMETRO”的技术与诀窍，对各种工件实现了最合适测量。
可对应客户各种要求！
我司自制设计的本体机构、软件可满足客户各种要求。可提供最合适测量方案。
| 型号 | SF-640M | |
|---|---|---|
| 测量范围 (X × Y） | 650mm × 450mm | |
| 综合测量精度 | 0.6μm (※1) | |
| 重复精度 | 0.1μm (※2) | |
| 表示分解能 | 0.01μm | |
| 测头 | 非接触式镭射变为计、电子千分尺 | |
| 最小测点距 | 1μm | |
| 测量速度 | 0.5 ～ 50mm/sec | |
| 轴·导轨 | 陶瓷制气动导轨 | |
| 驱动方式 |
X轴：线性马达 Y轴：伺服马达 |
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| 最大工件重量 | 40kg | |
| 外观尺寸 | W1820mm × D1200mm × H1550mm | |
| 本体质量 | 1000kg | |
| 适用电源 | AC200V (50/60Hz) 15A | |
| 适用压缩空气 | 洁净干燥空气0.5MPa | |
| 空气流量 | 100L/min (ANR) | |
| 最大弓箭高度 | 50mm | |
| 设置环境 |
室温：20℃ ～ 25℃（波动在1ºC以下） 地面承重强度：耐荷载9800N/m2以上 |
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