φ360セラミックス円盤の平面加工

  • φ360セラミックス円盤の平面加工

高い面粗度と平面度が求められる難削材加工

用途:半導体製造装置

項目 結果

ワーク

材質 アルミナ(Al2O3)
サイズ φ360 t=15(mm)

精度

平面度 1.54 μm

使用機種

加工機 GSR-600
測定機 SF-640M
ナノメトロ®700FR
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