測定機
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円盤用表面形状測定装置spcm
ナノメトロ® FRシリーズ
回転エアテーブルを搭載し、ウェーハポリッシュ用セラミックプレートや、ラッピング用テーブルなどφ1000mmまでの円盤の表面形状が測定できます。
詳細評価用の同心円状測定や、概略評価用の放射状測定など各種の測定に対応したソフトウェアを用意しています。 -
表面形状測定装置spme
精密平面度測定装置 SF-640M
金型などのワークの精度評価システムとして開発した650×450の測定範囲を有する大型の測定装置。
当社のシリコンウェーハ用超精密測定装置である「ナノメトロ」の技術とノウハウを応用。平面とエッジの高精度な評価が行え、平面形状を鳥瞰図や断面図、等高線など様々な形式で評価できます。
上記サイズを超える測定範囲についても、お問い合わせください。 -
測定実績measuring
φ360アルミナの平面度測定
用途：半導体製造装置
本カタログは製品改良のため、予告なく仕様変更を行うことがあります。
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